《半導(dǎo)體技術(shù)》和《微納電子技術(shù)》簡介
《半導(dǎo)體技術(shù)》和《微納電子技術(shù)》均是由中國電子科技集團公司主管、中國電子科技集團公司第十三研究所主辦的科技期刊。兩刊均為中文核心期刊、中國科技核心期刊，被中國期刊網(wǎng)、中國學術(shù)期刊（光盤版）、萬方數(shù)據(jù)數(shù)字化期刊群入網(wǎng)期刊、中文科技期刊數(shù)據(jù)庫等國內(nèi)數(shù)據(jù)庫，美國《化學文摘》（CA）、美國《劍橋科學文摘》（CSA）、英國《科學文摘》（SA, INSPEC）、俄羅斯《文摘雜志》（AJ,VINITI）、美國《烏利希期刊指南》（Ulrich’s） 等國外數(shù)據(jù)庫收錄。
《半導(dǎo)體技術(shù)》欄目分為：趨勢與展望，半導(dǎo)體材料與器件，半導(dǎo)體制備技術(shù)，集成電路設(shè)計與應(yīng)用，封裝、檢測與設(shè)備。聚焦半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域材料、器件、集成電路等方向的設(shè)計與應(yīng)用，策劃出版最新研究成果。
《微納電子技術(shù)》欄目分為：技術(shù)論壇，器件與技術(shù)，材料與結(jié)構(gòu)，MEMS與傳感器，加工、測量與設(shè)備。主要內(nèi)容包括：納電子學、微系統(tǒng)與納系統(tǒng)、納電子器件與技術(shù)、納米材料與結(jié)構(gòu)、納米測試技術(shù)、MEMS器件與技術(shù)、微細加工技術(shù)與設(shè)備、納米技術(shù)應(yīng)用等領(lǐng)域國內(nèi)外的最新進展，并兼顧微電子領(lǐng)域的最新研究成果。
《半導(dǎo)體技術(shù)》編輯部
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